长江商报消息●长江商报记者 沈右荣
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国产半导体设备细分环节有了重大突破。
5月21日晚间，国内CMP（化学机械抛光）设备巨头华海清科（688120.SH）披露自愿性公告，公司新一代12英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300量产机台已经发往集成电路龙头企业。
华海清科这一公告引发业内广泛关注。此前，这一领域一直依赖进口，华海清科初步实现了国产替代。
华海清科从事半导体专用设备的研发、生产销售及技术服务，公司高度重视研发，近几年，公司研发人员占员工总数的30%左右。公司有12项核心技术，系国内领先，均来自于自主研发。
近几年，华海清科的经营业绩高速增长。2022年，公司实现归属于上市公司股东的净利润（以下简称“净利润”）5.02亿元，同比增长152.98%。2020年、2021年，其净利润同比均以翻倍速度增长。
超精密减薄技术填补国内空白
华海清科的研发获得重大突破，相关技术填补了国内空白。
根据公告，近日，华海清科新一代 12 英寸超精密晶圆减薄机 Versatile-GP300 量产机台出机发往集成电路龙头企业。
华海清科表示，Versatile-GP300 机台通过创新布局，集成超精密磨削、抛光及清洗单元，配置先进的厚度偏差与表面缺陷控制技术，提供多种系统功能扩展选项，具有高精度、高刚性、工艺开发灵活等优点，可以满足集成电路、先进封装等制造工艺的晶圆减薄需求。
公告称，华海清科针对 Versatile-GP300 进行了工艺性能水平及智能化控制的迭代升级，在核心技术指标方面取得新突破。Versatile-GP300 量产机台的超精密晶圆磨削系统稳定实现了 12 英寸晶圆片内磨削 TTV＜1um，达到了国内领先和国际先进水平，并配备了新开发的 CMP 多区压力智能控制系统，突破传统减薄机的精度限制，实现了减薄工艺全过程的稳定可控。
有消息称，2021年9月底，Versatile-GP300首次实现出货，该减薄机主要应用于3D IC与先进封装领域的晶圆背面减薄环节，是实现系统级封装与3D NAND 多层堆叠等先进工艺的关键。
华海清科的这份公告，对业内影响不小。过去，中国先进封装减薄机几乎全部依赖进口，其中以日本DISCO、东京精密株式会社和以色列ADT公司 (被光力科技旗下的先进微电子有限公司收购) 为主，日本巨头DISCO占有约70%左右份额。
华海清科的产品优势在于，其还将超精密减薄单元与CMP单元有机整合，实现减薄和抛光工艺整合，从而一次性实现超高平整减薄与全局平坦化抛光，具有更高效率。
华海清科在公告中表示，Versatile-GP300 量产机台进入大生产线，标志着其性能获得客户认可，填补了国内芯片装备行业在超精密减薄技术领域的空白。同时随着先进封装、Chiplet 等技术的应用将大幅提升市场对减薄设备的需求，本次 12 英寸超精密晶圆减薄机量产机台出货，将有助于巩固和提升公司的核心竞争力，对公司未来的发展将产生积极影响。
长江商报记者发现，近年来，华海清科持续加码研发。
数据显示，2020年至2022年，公司研发投入分别为0.58亿元、1.19亿元、2.17亿元，同比分别增长28.89%、105.17%、81.54%。2021年底、2022年底，公司研发人员数量分别为224人、306人，占员工总数的比例为32.37%、29.17%。
华海清科表示，公司建立了全面覆盖CMP、减薄、清洗、膜厚测量等核心技术的知识产权保护体系，核心技术已形成高强度专利组合和技术屏障。截至2022年底，公司拥有国内外授权专利 269 项，其中发明专利 156 项。公司拥有12项核心技术，均属于自主研发，均处于国内领先水平。
经营业绩高速增长
依托自主研发创新，华海清科在业内形成了较强竞争力，并因此实现了经营业绩高速增长。
华海清科成立于2013年，是天津市政府与清华大学践行京津冀一体化国家战略，为推动我国化学机械抛光(CMP)技术和设备产业化成立的高科技企业。
官网显示，华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商，公司主要产品包括CMP设备、减薄设备、供液系统、晶圆再生、关键耗材与维保服务，初步实现了产品+服务的平台化战略布局。公司主要产品及服务已广泛应用于集成电路、先进封装、大硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等制造工艺。
经营业绩可以一定程度上反映华海清科高速发展。2017年至2019年，公司实现的营业收入分别为0.19亿元、0.36亿元、2.11亿元，2018年、2019年的同比增幅为85.89%、491.44%。同期，公司的净利润分别为亏损0.16亿元、0.36亿元、1.54亿元，扣除非经常性损益的净利润（以下简称“扣非净利润”）分别为亏损0.39亿元、0.68亿元、0.48亿元。
2020年、2021年，上市前2年，公司实现的营业收入分别为3.86亿元、8.05亿元，同比增长82.95%、108.58%。对应的净利润为0.98亿元、1.98亿元，同比增长163.42%、102.76%，扣非净利润分别为0.15亿元、1.14亿元，同比增长130.62%、679.88%。
2022年，公司实现的营业收入、净利润分别为16.49亿元、5.02亿元，同比增长104.86%、152.98%，扣非净利润为3.80亿元，同比增长233.36%。
华海清科解释2022年经营业绩时称，营业收入大幅增长，主要系公司 CMP 产品作为集成电路前道制造的关键工艺设备之一，突破了更先进的技术节点，实现了更高的工艺覆盖度，取得了更多客户的批量订单，市场占有率不断提高。
上述数据显示，2020年至2022年，华海清科的净利润、扣非净利润均实现了连续三年倍增。这一良好势头延续至今年。今年一季度，公司实现的营业收入、净利润分别为6.16亿元、1.94亿元，同比增长76.87%、112.49%，扣非净利润为1.67亿元，同比增长114.46%。
未来，华海清科的经营业绩有望继续高速增长。截至今年3月底，公司合同负债13.34亿元，同比增加4.98亿元，增幅为59.57%。
与净利润高速增长相关联的是经营现金流。2020年至2022年，华海清科的经营现金流净额分别为1.59亿元、3.90亿元、0.25亿元，均为净流入。2022年的经营现金流净额有所减少，主要系备货增加，购买商品、接收劳务支付的现金增幅较大。
二级市场上，华海清科表现也不俗。2022年6月8日，公司IPO上市时发行价格为136.66元/股，今年5月22日，收盘价为367.01元/股，上市近一年，股价累计涨幅为168.56%。
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